V型石墨舟皿运用场景与功用优势

硬质合金烧结

温度均匀性：舟皿外表温差<±2℃，防止产品翘曲变形。

装载量提高：W型双向斜槽规划使单位面积装载量添加35%，下降单件本钱。

异形件适配：通过调理双向螺纹杆改动槽体间隔，最小可固定5mm×5mm截面产品。

第三代半导体运用

在SiC外延成长炉中，V型石墨舟皿需接受1600℃/H2气氛接连工作，其抗HCl气体腐蚀速率<0.1mg/cm2·h，保证外延层厚度动摇<±1.5%。

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