石墨坩埚的中心规划要害

资料挑选与复合结构

主体资料：以天然鳞片石墨为主，因其具有耐高温（可达3000℃以上）、导热性优异（热导率约100-150W/(m·K)）、化学安稳性强（常温下不与大多数酸碱反应）等特性。

复合结构：针对特定场景（如熔炼生动金属），选用外层石墨+内层氮化硼（BN）的复合规划。BN耐超高温（熔点约3000℃）且化学慵懒极强，可防止金属与石墨反应，但本钱较高且脆性大，因此仅用于内层防护。

密封与压紧规划

密封部件：经过环状体（固定于内胆顶端）与密封板（固定于顶盖下外表）的贴合结束密封，防止气体走漏或杂质进入。

压紧部件：在铁质坩埚侧壁顶端设备压紧设备，经过延伸螺杆、凹形座及压板联动，结束顶盖的安稳压紧与快速拆开，一起防止压板阻遏顶盖运用。

热场均匀性规划

单环结构：坩埚边沿设置单环，便于用坩埚钳夹持，确保转移过程中安稳操作。

石墨套筒：在碳化硅晶体生长设备中，经过石墨套筒将坩埚差异为资料区与非资料区，套筒侧壁开设倾斜通孔（与轴线成30°-70°角），防止资料窜流，一起确保热场均匀性。

规范与形状优化

类型差异：

单孔坩埚：用于熔炼和加热，腔体呈碗状或杯状，壁厚需接受高温与压力。

双孔/多孔坩埚：双孔用于加热和结晶，多孔可根据需求定制，满足凌乱试验需求。

特别形状：如半月形流盘（双浇口规划）、长型（外口径与高度比0.6-0.7:1）、碗型（口径与高度比1:1）等，习气不同工艺流程。

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