石墨热场是单晶炉里用来熔化硅料并控制温度的整套石墨加热体系,首要用在光伏和半导体职业拉单晶硅。它由多个石墨部件组成,中心是高纯等静压石墨资料,但现在正逐渐被碳碳复合资料替代。
石墨热场是个体系,不是单一零件,首要包含这几个要害部件 :
石墨坩埚:用来装石英坩埚和熔融硅料,常见三瓣式规划便当拆开。
加热器:直接发热体,温度最高能到1600℃以上,有筒状、杯状、螺旋状等形状。
保温罩:分上中下三层,包裹石墨碳毡来削减热量丢掉。
导流筒:控制温度梯度、引导氩气流,影响硅棒成长速率。
石墨电极:固定加热器并运送电流,要求厚重健壮、表面润滑。
其他配件:压环、保温盖、坩埚托杆、托盘、螺栓等。
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