直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,石墨热场系统的作用是指在一定温度下熔化硅并保持单晶生长的整个系统。
石墨场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上、中、下保温盖、石墨坩埚(三瓣坩埚)、坩埚支撑杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流管、石墨螺栓。为了防止漏硅,炉底、金属电极和支撑杆都有保护板和保护套。
单晶炉的石墨热场简单来说就是用来提拉单晶硅的一整套石墨加热系统。18英寸、22英寸和24英寸的石墨热场很常见。石墨热场行业标准的一个流行设计方案是用石墨材料制作热场保温部件。标准的石墨绝热材料由片状或毯状石墨化碳纤维组成,在靠近热场中心的内表面往往涂有一层石墨纸或碳-碳复合片,以提高热反射率,防止高压气流的侵蚀。
