多年来，金属钼几乎只用于真空热处理和钎焊炉，而且还有一种普遍的误解，认为石墨材料排出的物质会与某些材料发生化学反应，污染炉内工件。早期的石墨加热器仅限于形状简单的，石墨部件之间的连接和电性能不是很稳定。随着石墨材料性能和加工工艺的提高，越来越多的石墨加热器被用于热处理和钎焊炉中，石墨加热器的数量已经超过了钼加热器。石墨加热器的主要优点是:设计轻便、造型丰富、经久耐用、易于维护。
大多数高温真空炉采用电阻加热。加热器的材料可以是金属或石墨。根据需要，加热器可以设计成各种形式。加热器材料的选择主要取决于工作温度。对于工作温度较低的场合，如真空回火炉，廉价的镍铬合金可以胜任。钼和石墨是最受欢迎的热处理材料，如淬火炉和钎焊炉。
